GB/T 15909-2009 电子工业用气体 硅烷(SiH4)
作者:标准资料网 时间:2024-05-19 14:45:38 浏览:8820
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基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 硅烷(SiH4) |
| 英文名称： | Gas for electronic industry—Silane |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 替代GB/T 15909-1995 |
| 发布部门： | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会 |
| 发布日期： | 2009-10-30 |
| 实施日期： | 2010-05-01 |
| 首发日期： | 1995-12-20 |
| 作废日期： | |
| 主管部门： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 提出单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会 |
| 起草单位： | 浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院 |
| 起草人： | 余京松、周鹏云 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 2010-05-01 |
| 页数： | 12页 |
| 计划单号： | 20064396-T-469 |
适用范围
本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。
前言
没有内容
目录
没有内容
引用标准
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准,然而,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件,其最新版本适用于本标准。
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所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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